集成電路無塵車間需不需要加濕機(jī)

集成電路無塵車間需不需要加濕機(jī)

集成電路無塵車間需不需要加濕機(jī)：集成電路無塵車間是為了滿足半導(dǎo)體制造工藝需求的潔凈室，該無塵車間對環(huán)境潔凈度、溫濕度、振動、ESD、AMC控制等都有一定的要求。相對于其他工業(yè)潔凈室，集成電路制造無塵車間有面積大、潔凈等級高、溫濕度控制精度高等特點(diǎn)。集成電路制造對無塵車間環(huán)境的控制有較為嚴(yán)格的要求。不同的工藝制程對潔凈度的要求也各不相同，例如光刻要求在1級的微環(huán)境下，而化學(xué)機(jī)械研磨則只要求1000級的環(huán)境即可。

可以說集成電路無塵車間在對環(huán)境的要求上達(dá)到極致，不光只是溫濕度上門有要求，而且對噪聲、微振、照度等都有相關(guān)的規(guī)定和要求，尤其是振動的控制，在潔凈室的建筑結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)上就要有所要求。

好的潔凈車間設(shè)計(jì)不僅能節(jié)省能源、降低運(yùn)行成本、降低人力投入，而且可以給生產(chǎn)提供安全可靠的保證?，F(xiàn)在很多集成電路潔凈廠房多采用FFU循環(huán)系統(tǒng)，這種循環(huán)系統(tǒng)的特色是整個(gè)潔凈室由靜壓層、工藝層、工藝輔助層和回風(fēng)通道組成，由FFU提供循環(huán)空氣的動力，將新風(fēng)、循環(huán)風(fēng)混合后通過超高效過濾器送入工藝層和工藝輔助層，靜壓層相對于工藝層為負(fù)壓。此外，還有生產(chǎn)輔助區(qū)為集成電路制造廠務(wù)設(shè)備區(qū)域，包括電力供應(yīng)、氣體和化學(xué)品供應(yīng)、超純水供應(yīng)等。

在這個(gè)系統(tǒng)中，溫濕度的控制也被納入管理，由于潔凈空調(diào)系統(tǒng)的能耗占其中的30%以上，所以一個(gè)節(jié)能安全的溫濕度控制設(shè)備就非常重要了，特別是濕度控制，因此如何選擇好的濕度控制設(shè)備可以幫助無塵車間進(jìn)行節(jié)能，可以更好的控制空氣濕度，這樣就不會出現(xiàn)境地灰塵，影響產(chǎn)品質(zhì)量。

濕度控制設(shè)備有很多，對于FFU循環(huán)系統(tǒng)來說可以選擇恒濕機(jī)，或者是加濕機(jī)，加濕機(jī)的節(jié)能效果很明顯，而且在防范靜電灰塵的功能上也不弱，所以它成為很多集成電路無塵車間在冬天使用控濕的首選，畢竟冬天空氣干燥，對集成電路生產(chǎn)很大，不得不防。安詩曼加濕機(jī)，采用超聲波霧化技術(shù)，加濕速度快，操作簡單方便，是集成電路無塵車間加濕防靜電的收選擇。